Когда мы сохраняем фотографию или документ, кажется, что информация просто появляется в памяти устройства. На самом деле за этой операцией скрываются процессы в слоях вещества толщиной всего несколько нанометров. Исследователи из корейского института KAIST и немецкого Дрездена выяснили, что перспективная память переключается благодаря двум процессам, идущим одновременно. Это помогает объяснить, почему одни микросхемы записывают данные быстрее других.
Речь идет о сегнетоэлектрической памяти, способной сохранять информацию после отключения питания. В отличие от обычной оперативной памяти, сегнетоэлектрик обладает устойчивой электрической поляризацией. Условно говоря, положительные и отрицательные заряды внутри него немного смещены друг относительно друга в определенном направлении. Электрическим напряжением это направление можно переключить, закодировав два состояния — ноль и единицу.
Главный материал исследования — оксид гафния-циркония, или HZO. Он интересен не только способностью удерживать поляризацию, но и совместимостью с технологиями изготовления современных полупроводников. Оксид гафния давно знаком производителям микросхем, поэтому родственные соединения рассматривают как основу компактной энергонезависимой памяти. Но как именно в таком тонком слое происходит запись?
На первый взгляд все просто: подали импульс — поляризация изменилась. Однако пленка состоит из кристаллических зерен, внутри которых существуют домены — маленькие области с одинаковым направлением поляризации. При переключении новые домены возникают в разных точках, а уже существующие расширяются. Прежние модели часто делали акцент либо на зарождении, либо на распространении, хотя в реальном материале процессы могут перекрываться.
Представьте площадь, где одновременно загораются новые фонари и расширяются уже освещенные участки. Вся площадь постепенно становится светлее благодаря двум происходящим вместе изменениям. Аналогия не буквальная: в сегнетоэлектрике не распространяется свет, а перемещаются границы областей с разной поляризацией. Но она помогает понять, почему скорость записи нельзя объяснить только появлением новых доменов.
Команда исследовала конденсаторы с пленкой HZO толщиной около десяти нанометров. Пьезооткликная силовая микроскопия позволила проследить, как меняются отдельные домены при приложении напряжения. Затем изображения сопоставили с электрическими измерениями импульсного переключения. Оказалось, что новые области продолжали возникать, пока ранее сформированные уже захватывали соседние участки материала.
Еще удивительнее оказалась роль нижнего электрода. С нитридом титана переключенные домены быстро распространялись через границы кристаллических зерен, а с нитридом ниобия процесс шел постепенно и преимущественно внутри зерен. При использовании диоксида молибдена сегнетоэлектрическое переключение сильно подавлялось. Получается, свойства контакта могут влиять на скорость записи почти так же принципиально, как свойства самого активного слоя.
Причина связана с границами зерен и устройством интерфейса между материалами. В одних условиях эти границы помогают переключению распространяться, в других задерживают движение доменных стенок. Ученые проверили и влияние отжига — нагрева готовой структуры для изменения ее микроструктуры. Самое быстрое переключение в исследованной конструкции с электродами из нитрида титана наблюдалось после обработки при 600 градусах Цельсия.
Для описания процесса исследователи предложили модель SNG — одновременного зарождения и роста доменов. Она учитывает и непрерывное появление новых переключенных областей, и распространение уже существующих. Сравнение с измерениями показало, что характерные времена двух механизмов могут быть сопоставимыми. Значит, игнорирование любого из них способно исказить представление о скорости записи и выборе оптимальной конструкции.
Для разработчиков электроники результат открывает практическую возможность: подбирать материалы электродов и условия изготовления не вслепую, а исходя из того, как переключаются нанодомены. В перспективе это может сделать энергонезависимую память быстрее, стабильнее и экономичнее по энергопотреблению. Подобные материалы также изучают для нейроморфных устройств, использующих некоторые принципы обработки информации, вдохновленные работой нервной системы. Но само исследование еще не доказывает преимущества готовых коммерческих чипов.
До массового применения предстоит проверить ресурс многократной перезаписи, стабильность состояний и поведение больших массивов элементов. Работа, опубликованная в Nano Letters, раскрывает прежде всего механизм переключения в тонких пленках HZO. Оказывается, запись информации на наномасштабе не похожа на одно мгновенное движение переключателя. Это множество небольших изменений, которые возникают в разных местах и одновременно распространяются по материалу.